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冷水机在真空镀膜工艺中的作用

冷水机在真空镀膜工艺中的作用

发布日期:2019/12/19 15:31:38

    中频真空镀膜设备由于频率高电流大,电流在导体流动时有一个集肤效应,电荷会聚集在电导物的表面积聚,这样会使得电导发热。这时必须进行降温冷却,方法是对中孔管作为导体的中间通入冷冻水。另外真空镀膜设备的圆柱靶也要使用冷冻水进行冷却,因为磁控溅射靶在发射时,会产生高温会使射枪变形,所以它设有一个夹套,可以通入冷冻水冷却射枪。因此,在应用中,为真空镀膜机配置可以产生冷冻水的冷水机设备,是可以使达到高精度、高效率控制温度的目的。
  冷水机是一种使水冷却降温的设备,能提供恒温、恒流、恒压的冷冻水。其工作原理是冷水机与需冷却设备连接之后,组成了一个水循环系统。首先,通过冷水机制冷系统将水冷却降温,再由水泵将降温后的冷冻水送入需冷却的设备,由冷冻水在设备内将其产生的热量带走后温度会升高,再回流到冷水机内,如此循环,便可达到设备冷却的作用。冷却水温可根据要求作自动调节。
  冷水机设有独立的水循环制冷降温系统,冷冻水出水温度不会受气温及环境的影响,水温在5 30 范围内调节控制,因而可以达到高精度、高效率控制温度的目的,所以使用冷水机能有效的控制真空镀膜机的工作温度,以保证镀件的高质量。相比较下,使用自然水和冷却水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响,而且此方式控制是极不稳定的。

 

文章关键词:冷水机,冷冻机,工业冷冻机,工业冷水机
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